課程名稱 |
半導體設備元件實務 Practice of Semiconductor Equipment Components |
開課學期 |
112-2 |
授課對象 |
重點科技研究學院 奈米工程與科學博士學位學程 |
授課教師 |
李尉彰 |
課號 |
NENS5008 |
課程識別碼 |
K45 U0080 |
班次 |
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學分 |
1.0 |
全/半年 |
半年 |
必/選修 |
選修 |
上課時間 |
第6,8,9,10 週 星期六2,3,4,5,6,7,8,9(9:10~17:20) |
上課地點 |
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備註 |
初選不開放。密集課程。課程報名資訊請見https://reurl.cc/rrEXzr. 總人數上限:48人 |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
本課程尚未建立核心能力關連 |
課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
Week1:
Transfer (1)
●Introduction to the functions and actions of EFEM Equipment Front End Module)
●Principles of robot action and correction
●Load port
Transfer (2)
●Types and evolution of FOUP (Front Opening Unified Pod)
●TSMC-Load port
●Vibration wafer sensor
Week2:
Gas/MFC
●MFC(Mass Flow Controller) introduction
●Gas filter
●MFC calibration implementation
Chemical
●Liquid pump introduction
●Types and principles of chemical filters
●Chemical material introduction
●Chemical valve
Week3:
Plasma
●Principle of PlasmaFormation
●Types and principles of plasma design
●Principle of DC bias
●Application of Plasma
Temperature
●Temperature effect and component types
●Chiller/ Heat-changer
●Types of Cooling chip/Coolant
●Introduction to the principle and function of ESC (Electrostatic Chuck)
Week4:
Specialty
●Coating techniques introduction
●OES (O ptical Emission Spectroscopy) principle and application
●e-Sensor
●Introduction to ionizer |
課程目標 |
協助學員在完成訓練後:
1.對半導體設備元件原理與作用有基礎的了解;
2.對半導體設備實務工作有初步的了解;
3.能結合學校所學理論與產業實務。 |
課程要求 |
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
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評量方式 (僅供參考) |
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