課程名稱 |
半導體製程機台實務 Practice of Semiconductor Manufacturing Tools |
開課學期 |
112-2 |
授課對象 |
重點科技研究學院 奈米工程與科學碩士學位學程 |
授課教師 |
李尉彰 |
課號 |
NENS5009 |
課程識別碼 |
K45 U0090 |
班次 |
|
學分 |
1.0 |
全/半年 |
半年 |
必/選修 |
選修 |
上課時間 |
第6,8,9,10 週 星期六2,3,4,5,6,7,8,9(9:10~17:20) |
上課地點 |
|
備註 |
初選不開放。密集課程。課程報名資訊請見https://reurl.cc/rrEXzr. 總人數上限:54人 |
|
|
課程簡介影片 |
|
核心能力關聯 |
本課程尚未建立核心能力關連 |
課程大綱
|
為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
|
課程概述 |
Week 1:
1.System overview
2.Mainframe configuration
3.Process module
4.Utility connection
5.Sub-system
6.Safety
7.Tool on-site inspection
Week 2:
1.RF delivery system
2.Gas delivery system
3.Pressure servo system
4.ESC system
5.Backside He system
6.Temperature system
7.Chamber design evolution
8.EPD system introduction
9.Software operation overview
Week 3:
1.S/W operation main platform
2.S/W operation process module
3.S/W operation data access
4.Mainframe outline
5.Mainframe service function
6.Mainframe maintenance
7.Maintenance practice and certification
Week 3:
Specialty
1.Chamber outline and PM preparation
2.Process kits disassembling
3.Process kits cleaning and inspection
4.Process kits installation
5.PM practice |
課程目標 |
協助學員在完成訓練後:
1.對半導體機台的設計原理、操作與預防保養有基礎的概念;
2.對半導體設備實務工作有初步的了解;
3.能結合學校所學理論與產業實務。 |
課程要求 |
|
預期每週課後學習時數 |
|
Office Hours |
|
指定閱讀 |
|
參考書目 |
|
評量方式 (僅供參考) |
|
|